Le MEB à effet de champ Hitachi S-4800 est optimisé pour la haute résolution (du micromètre au nanomètre).

Il permet l'observation de matériaux fragiles sous le faisceau électronique, tels que les polymères, les semi-conducteurs ou plus généralement les matériaux ou structures associés aux nanotechnologies. 

Cet équipement permet de répondre à de nouvelles demandes, entre autre grâce aux caractéristiques techniques suivantes :

• émission froide (brillance du canon très importante)
• résolution garantie sur site de 1 nm à 15 kV
• échantillons jusqu'à 40 mm de diamètre
• gamme de tensions d'accélération vaste :de 0.1 kV à 30 kV

Le MEB à effet de champ JEOL J7600F est dédié à l'analyse combinée EDS/WDS.

Il est en effet équipé d'un spectromètre EDS de type SDD couplé à un spectromètre WDS Oxford Wave.

Ce microscope permet l'observation et l'analyse d'échantillons polis de préférence ; avec une très bonne résolution et un courant de faisceau fort (de l'ordre de 100nA) stable nécessaire à une analyse précise et à la réalisation de cartographies de photons X rapide.

Il dispose également d'un detecteur de cathodo luminescence. 

Ce microscope a été financé grâce au soutien du FEDER (Fonds Européen de Développement Régional), du conseil scientifique de l'UHP ainsi que du CNRS par l'intermédiaire de la FEDEST.

• cathode chaude (courant stable et important)
• résolution garantie sur site de 1 nm à 15 kV
• échantillons jusqu'à 70 mm de diamètre
• gamme de tensions d'accélération vaste : de 0.1 kV à 30 kV